Чистая комната
На Физическом факультете МГУ имени М.В. Ломоносова состоялось открытие первой очереди Учебно-методического центра литографии и микроскопии, созданного на базе лаборатории «Криоэлектроника» и кафедры полупроводников в рамках выполнения Соглашения о сотрудничестве между Физическим факультетом МГУ, ООО «ОПТЭК» и концерном Carl Zeiss Microscopy GmbH.
В торжественном мероприятии на физическом факультете приняли участие ректор МГУ академик Виктор Антонович Садовничий и декан физического факультета МГУ Николай Николаевич Сысоев. Среди почётных гостей были профессора МГУ и представители компании ОПТЭК, представляющей концерн Carl Zeiss в России.
Учебно-методический центр литографии и микроскопии — первый совместный проект МГУ имени М.В. Ломоносова и концерна Carl Zeiss — лидера в области электронной микроскопии. Сотрудничество ОПТЭК, Carl Zeiss и Московского университета началось в 2014 году, когда было подписано Соглашение о сотрудничестве и принято решение о создании Центра. «Это первая лаборатория в стенах Физического факультета, где оборудована и сертифицирована чистая комната, созданы все условия не только для научной работы, но и для изготовления прототипов устройств современной наноэлектроники», — сказал в своем выступлении профессор Николай Николаевич Сысоев, декан физического факультета МГУ.
Новый центр станет местом, где будут решаться как прикладные задачи, так и задачи, связанные с фундаментальной наукой. Это прежде всего исследования в области индустрии наносистем и наноматериалов, проводимые в рамках различных проектов. Центр уже стал базой для реализации проекта Российского Научного Фонда «Твердотельные одноатомные структуры как элементы компонентной базы для квантовых технологий», направленного на создание и исследование транзисторов на основе одиночных примесных атомов и развития элементной базы информационных систем нового поколения, проекта Минобрнауки «Разработка физических основ технологии получения высокотемпературных сверхпроводящих проводов 3-го поколения и исследование их характеристик», проекта РФФИ «Экспериментальное и теоретическое исследование полевых и наномеханических сенсоров на основе кремниевого транзистора с каналом-нанопроводом», и ряда других, в том числе межфакультетских и международных проектов, таких, например, как междисциплинарный проект РФФИ «Разработка мультисенсорной диагностической системы на основе полевых транзисторов с каналом-нанопроводом для исследования биоспецифических взаимодействий» выполняемый совместно с химическим факультетом МГУ и проект Минобрнауки «Разработка наносенсорной биомагнитной тест-системы на основе нуклеиновых кислот для быстрого детектирования заболеваний разной этиологии», выполняемый физическим факультетом совместно с НИИ физико-химической биологии им. А.Н. Белозерского и Chalmers University of Technology (Швеция).
В чистых помещениях центра установлено современное оборудование для прецизионной электронной литографии микроскопии: растровый электронный микроскоп ZEISS Supra 40 в комплексе с электронно-литографической системой RAITH Elphy, на апробации впервые в России находились электронный микроскоп ZEISS GeminiSEM 300 и материаловедческий стереомикроскоп Zeiss Stemi.
«Мы сделали шаг, который будет способствовать развитию международных контактов и обмену научной информацией. Наше партнерство поможет ученым МГУ проводить исследования на самом высоком уровне, а концерну ZEISS создавать и улучшать свои технологии, и первые результаты работы центра это подтверждают», — сказал в своем выступлении Максим Семенович Игельник, управляющий группы компаний ОПТЭК.
Центр является первым в Московском университете с помещениями, сертифицированными по классам чистоты для работ в области наноэлектроники. Полученный при создании Центра опыт будет применён при реализации проекта научно-технологической долины «Воробьёвы горы». В настоящее время ведется большая работа по созданию и комплектации рабочих мест Центра.
Заведующий кафедрой полупроводников профессор О.В. Снигирев